二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038085 待售

AXCELIS / FUSION 200 PCU
ID: 9038085
晶圓大小: 8"
UV photostabilizers, 8" Single chamber UV bake 3-Axis robot.
AXCELIS/FUSION 200 PCU是為制造超復雜微電子元件而設計的先進可靠的曝光設備。該系統具有獨特的高功率光束傳遞單元,能夠生產具有無與倫比的特征分辨率功能的微電子元件。FUSION 200 PCU用於處理各種基材和材料,並以競爭系統成本的一小部分生產卓越的工藝。AXCELIS 200PCU提供了一系列功能,使用戶能夠充分利用其曝光過程。該機器包含一個光束傳遞工具,利用明亮、高度聚焦的電子束,該電子束通過一系列場和透鏡進行布線,使光束能夠被精細操縱以達到最大分辨率。這一資產還提供了從低功率到高功率的高度可靠的曝光功率,確保了高質量微電子元件的生產。FUSION 200PCU還具有復雜的光束控制模型,該模型旨在確保光束滿足關鍵參數並在整個曝光過程中保持在目標上。這一設備使用戶能夠有效地監控和調節電子束,以及其功率水平、速度、聚焦和發散。此外,系統還集成了在曝光過程中監控基板的精密傳感器,可以主動調整過程以確保最佳結果。AXCELIS 200 PCU還包含一個先進的真空環境,設計用來限制暴露過程中的汙染程度。這種真空環境有助於確保附近沒有有害氣體或顆粒可能在過程中造成有害的汙染。最後,200 PCU包括一個FUSION Monitor軟件包,它使用戶能夠從單個訪問點監視和調整曝光過程的所有方面。這種功能強大的軟件還使用戶能夠在曝光過程中從設備收集數據,這有助於識別和糾正可能出現的任何問題或差異。總之,200PCU是一個可靠和高度先進的接觸機器,提供優越的結果與廣泛的基材和材料。該工具集成了先進的光束傳遞資產、先進的光束控制模型、先進的真空環境以及精確的AXCELIS Monitor軟件包等眾多功能。AXCELIS/FUSION 200PCU具有強大的功能設備,是需要高質量和高精度微電子元件的制造商的理想選擇。
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