二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9106832 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是一種設計用於工業和實驗室環境的曝光設備。該系統為各種材料和工藝條件提供高精度、用戶友好的曝光控制。該單元由一個光束傳遞櫃和一個工藝室組成，有兩個集成的軟件程序，以確保高效、準確和可重復的結果。光束傳遞櫃中包含一組透鏡和反射鏡，這些透鏡和反射鏡控制電子束向工藝室的傳遞。梁的路徑可以使用機櫃前部的控制旋鈕進行調節，以精確操縱梁轉向。這樣可以使光束精確聚焦並定向到目標材料上。該工藝室是一種真空室，用於為電子束暴露創造理想的底物環境。專用特高壓法蘭附著在腔室的頂部和底部，以確保清潔幹燥的環境。它還包含一個用於基板加熱和冷卻的隔離腔室，允許對腔室內的溫度和環境進行精確調整。此外，氣體進氣孔和排氣孔提供清潔的進氣孔，並為操作過程中的潛在危險顆粒制造安全的排氣機。FUSION 200 PCU軟件為用戶提供了功能強大、用戶友好的工具來控制曝光過程。它使用戶能夠快速輕松地配置參數,如梁電流、基板溫度、壓力等。預定義配方庫能夠快速創建和存儲設定點,從而使重復過程變得更加容易。軟件還包含自動故障檢測和整改模塊，在曝光過程中提醒用戶任何異常，並引導用戶快速整改。這確保了暴露過程的更高準確性和可重復性。總體而言,AXCELIS 200PCU是一種強大、可靠的工具,可實現各種材料的精確、高精度曝光。光束輸送箱、工藝室和用戶友好軟件的結合，使其成為工業和實驗室設置的理想選擇。