二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9182824 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是一種先進的曝光設備,用於在半導體行業的廣泛應用中加快設備的開發和生產。該系統包括一臺X射線發生器、一臺成像相機、一套探測器和數據采集電子設備，以及許多其他子組件。X射線發生器產生高能電子束，該電子束指向要暴露的材料。然後通過一系列的光刻面罩，每個面罩都包含一個要印在基材上的特征圖樣。成像相機捕獲所產生的曝光圖樣,並將其存儲為數字圖像。探測器測量照明材料的暴露水平，而數據采集電子記錄並將這些水平存儲在內存中。然後,設備將使用此數據生成可用於優化曝光設置或控制流程參數的曝光配置文件。FUSION 200 PCU能夠支持一系列工藝參數,使其能夠產生高度詳細的圖像,並具有良好的曝光控制水平。該機可用於對不同基板和材料進行多次曝光，使設計者能夠產生一系列特征尺寸的圖案。這可以促進在基板上產生微小而細膩的特征，如接觸窗。該工具還具有一系列安全功能，如自動接觸極限監測，可以為工人和環境提供保護。此外,該資產還具有啟用以太網的數字通信功能,允許遠程訪問和與其他系統集成。AXCELIS 200PCU是一種可靠、高效的曝光模型,適用於廣泛的工業和學術環境中的高精度光刻應用。該設備具有強大的成像攝像頭和各種參數，為研究、開發和生產各種設備提供了一個很好的工具。