二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9194479 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU （Personal Computer Unit）是為幾種不同的光刻作業而設計的曝光設備。它用於曝光控制、蝕刻/顯影控制和掩模對齊器。PCU是一個獨立的系統，連接到許多光刻設備和組件。該單元由幾個組件組成,包括工作站、控制器、電源、大型機和軟件包。工作站用作用戶界面,控制器負責過程控制。電源為機器提供電源,大型機容納了刀具的所有電路。軟件包為用戶提供了一個輸入參數、執行命令和接收報告的平臺。FUSION 200 PCU具有彩色觸摸屏顯示屏、5英寸高分辨率顯示屏和多鍵盤,可輕松輸入數據。它還有一個大型數據庫,用於存儲多達10,000個掩碼和對齊數據。資產還支持用戶可以自定義的多個通信協議。該模型能夠提供曝光時間、照明圖樣、聚焦、暗曝光、偏振和曝光校正等曝光參數。它具有超快的響應時間，能夠同時控制多個晶圓曝光。該設備還提供高級掩碼數據庫搜索功能，可用於檢索滿足特定要求的掩碼集。它還能夠監測內部流程參數，並且可以擴展到管理外部系統。該系統具有多種診斷工具,可幫助管理設備的性能和對齊方式。它可以存儲多達10,000個要監控的參數，包括焦點誤差、曝光時間、極化、校準和溫度。它還具有自動對焦校準功能,可確保機器始終保持最佳性能。AXCELIS 200PCU是一種功能強大的曝光工具,旨在幫助用戶執行多個光刻操作。它具有多種功能,從觸摸屏顯示到全面的數據庫,使其成為滿足高級曝光要求的理想解決方案。