二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9229801 待售
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已售出
ID: 9229801
晶圓大小: 8"
Photo stabilizer, 8"
Configured for 6"
UV Bake process
Irradiator contains Hg high intensity lamp
2.45 GHz Magnetrons for UV radiation generation
Cassette to cassette operation
Microprocessor controlled
Pneumatic controlled uplift for irradiator
UV Port housing
Operations manual and documentation.
AXCELIS/FUSION 200 PCU是用於制造集成電路等電子元件等半導體器件的曝光設備。它是一個高度自動化和高效的設備,由一個由計算機控制的組件組成的綜合系統組成,能夠為光刻的目的精確控制各種參數。FUSION 200 PCU包括電源和控制器。電源提供驅動照明單元所需的電壓和電流,而控制器則提供調節曝光機各種參數所需的邏輯和控制。電源和控制器的設計都非常高效,減少了消耗的能量,最大限度地發揮了工具的潛力。AXCELIS 200PCU還包括一些光學元件,使圖像能夠精確聚焦到晶圓或基板的表面上。這些元素包括快門、激光、透鏡和將光引導到晶圓或基板表面的兩個分束器的組合。所有這些元件的組合效果使得圖像對比度非常高,這對於高清集成電路的制造至關重要。FUSION 200PCU的其他組件包括提供控制器視覺反饋的高分辨率顯示器,以及各種自動化功能,包括校準和圖像捕獲功能。FUSION 200還提供了廣泛的選項,用於定制曝光資產以滿足每個制造商的確切需求。總之,200 PCU是一個極具效率和精確的曝光模型,非常適合制造現代半導體器件,以及光刻應用。它提供了許多使其成為理想解決方案的功能,包括電源效率、高度精確的光學元件和通用的控制選項。AXCELIS 200 PCU是許多廠商極具成本效益和可靠的選擇。
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