二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231978 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是設計用於半導體加工的曝光設備。它是一種高性能系統，可用於多種制造工藝，包括高分辨率光刻、光刻帶、活化蝕刻、擴散、化學機械平面化和計量。該單元提供了多用途的曝光參數的可編程性以及高精度和重復性的曝光結果。該機還提供了極好的模式放置精度和高通量性能，最小的殘留強度變化。該工具包括先進的光學資產，包括非球面光學透鏡、掩模對準模型和雙源照明設備。這提供了高分辨率的成像精度,減少了像差,並且在晶片表面上有均勻的照明。該系統采用雙點均勻照明的分割場成像技術,以高通量提供高分辨率成像。此外,該單元還包括三個可編程曝光參數,使用戶能夠根據目標應用程序和流程定制計算機。該工具由一個高級控制器提供動力，該控制器能夠對資產進行精確的控制和監控。控制器提供自動溫度/濕度補償,使操作員能夠保持模型的穩定環境。此外,控制器還結合了用戶可編程的參數,以實現曝光特征邊緣放置精度、過度曝光kp因子和劑量均勻性。該設備能夠使用多種介質和技術,並根據介質和應用程序的要求優化性能。該系統具有先進的設計，以提高設備可靠性，包括在線診斷和低級維護。該計算機還具有多種配置,允許用戶根據特定的應用程序要求自定義工具。為確保最佳性能,建議進行專業安裝和定期維護。資產還必須按照制造商的指示操作，以確保最佳性能和可靠性。此外,在溫度和濕度控制環境中存儲模型也是必不可少的.如果使用得當,FUSION 200 PCU將提供可靠和準確的結果。