二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235768 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是FUSION Technologies設計的最先進的曝光設備，用於制造半導體工業中使用的光掩模。該系統配備了功能強大的源模塊，以高精度、重復性和吞吐量提供多種曝光。源模塊具有四個具有可變功率級別的UV燈,使用戶能夠為各種光掩模選擇適當的曝光。四盞燈由PEU（電源延伸單元）支撐，為機組運行提供必要的電力。該機設計有一個大型面罩臺，可在任何給定時間容納多達12個面罩。這些模塊具有內置晶片處理工具，有助於在窗口和支撐板之間方便地傳輸晶片和掩模。資產還配備了數碼相機，使用戶能夠準確記錄和顯示鏡頭和光圈的圖像。該型號還有一個外部空氣冷卻設備，在系統運行時有助於保持恒定溫度。FUSION 200 PCU有一個完全自動化的設置和控制軟件。此軟件使用戶能夠有效地運行和控制整個設備。該軟件具有強大的配方,用戶可以使用這些配方來滿足客戶所需的光掩碼要求。這有助於減少運行機器所需的時間,並確保光掩碼準確一致。AXCELIS 200PCU配備高精度XY軸級，X行程1350mm，Y行程1800mm。這允許蒙版在蒙版表上有效移動。該工具還配備了多點聚焦功能,可在最多6個不同點進行聚焦,從而提高掩模細節的精確度。AXCELIS/FUSION 200PCU也提供高度安全,因為它符合國家電氣法規和CE標誌要求。此外，資產還符合嚴格的環境規定，確保光掩模能夠安全用於工業應用。FUSION 200PCU是一個功能強大、可靠的曝光模型，非常適合半導體行業。其全面的特點，加上其高精度、精確度和可靠性，使其成為任何光掩模制造商的絕佳選擇。