二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235770 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是專門為半導體器件制造和微電子設計的曝光設備。它為中高通量生產提供精確的控制,並且需要最少的維護。該系統適用於制造和測試各種設備，包括光電子、MEMS、光子學和LED。FUSION 200 PCU裝有一個200瓦、超高功率的激光源、一個13位晶圓級和三個獨立聚焦光學元件（CO2、NIR和UV）。它提供了兩個加載選項（活動機器人和手動裝載）,並具有一個現代化的熱力裝置,旨在抵消溫度波動以保持最佳工藝條件。AXCELIS 200PCU配備了超精確的電動Z軸，實現了最高精度的對準和定制的可重復性。閉環運動控制功能和集成儀器有助於對激光暴露劑量進行可靠和準確的控制。該機允許用戶輕松定制曝光過程參數，包括激光束形狀和快門、掃描速度、XY運動等等。它還具有內置的安全功能,可防止潛在的錯誤。200PCU用途廣泛，可提供均勻、快速的光刻膠、其他材料和各種尺寸的基材。它與第三方和FUSION自己的軟件解決方案兼容,並且可以設計為適合各種類型的自動化設置。AXCELIS 200 PCU是一種先進、高效的工業應用曝光工具。其尖端技術和高度可定制的選項確保了卓越的性能和快速的生產時間。它是高容量和復雜的光刻和成像應用的理想選擇。