二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235771 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是一種先進的曝光設備,設計用於處理各種行業的各種材料。該系統具有一個大腔室，旨在改善傳熱，提供均勻的晶圓覆蓋，並允許長時間運行，維護最少。該單元與多種底物兼容，包括矽、氮化的、金剛石、石英等等。該機器包括一個EasyLoadTM晶圓處理程序、一個緊湊的Load Locker和一個200瓦X射線源。超高精度掃描儀可確保設備的精確成像和整個過程控制,分辨率可降至5 nm。一種獨特而革命性的冷目標X射線源利用先進的能量色散陣列，將可調諧光譜精確投射到晶圓表面。該工具還包括一個微波源，為包括CVD和擴散在內的許多工藝在整個晶片上提供快速和均勻的烘烤。集成液壓快門機器人資產將晶圓處理時間縮短到不到一分鐘。機器人還從室內采取空氣清洗步驟，並將它們送到單獨的清潔室，從而減少顆粒和水分汙染。該模型為各種工藝提供了全方位的工藝參數，包括光刻、高溫退火、濕蝕和金屬沈積。Process Control Software監視、協調和引導設備中的所有組件,確保結果一致。該軟件還為自定義流程和軟件工具提供了極好的靈活性,以方便定制設計的配方。該系統還配備了多種安全裝置，包括氣壓監測器、真空監測器、氣體探測器、粒子傳感器、ESD探測器和電弧檢測裝置。該單元旨在最大限度地減少對有害物質的暴露，最大限度地降低輻射暴露的風險，最大限度地降低電擊的風險。它還旨在為810-2007年提供輻射防護。該機器用途廣泛，可用於廣泛的行業，包括微電子、光電子、醫療、自動化和航空航天。它的質量和安全設計確保您從流程中獲得一致、可靠的結果。FUSION 200 PCU具有廣泛的功能和應用,是滿足最先進的曝光需求的絕佳選擇。