二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9238497 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是為半導體工業設計的先進曝光設備。該系統為高質量的生產成果提供了對關鍵暴露參數的精確控制。它專為晶片、層和樣品的快速處理而設計,能夠精確控制關鍵參數,如放大倍率、焦點、劑量和能量。該裝置設有一個集成的電動控制機和一個電動樣品保存工具，可精確控制樣品的對準和處理，從而能夠快速周轉，同時最大限度地減少與過程有關的問題。通過其高吞吐量、精確的樣品定位以及準確的劑量測量和控制，資產有助於確保一個可靠、可重復的過程。FUSION 200 PCU具有許多自動化功能,例如自動晶圓和樣本加載和對齊例程、劑量控制例程以及自動數據采集和分析例程。這些功能使用戶能夠更好地控制關鍵流程變量,並為其應用程序自定義模型。設備可以處理範圍廣泛的晶圓和樣品大小，從4英寸到1微米。它還能夠處理頂部和底部曲面上的樣本。該系統提供強大的性能,提供快速的處理時間和準確的結果。此外,它的軟件還可以方便地集成用於自動晶圓或樣品處理和對齊的系統。AXCELIS 200PCU設計用於電子、X射線、可見光和離子束等多種曝光源。該單元可以處理同步曝光，允許用戶一次處理多層。該機器包括一個多軸樣品定位工具，它提供了準確性和可重復性，允許用戶在曝光過程中精確定位樣品。該資產還具有保護用戶的安全功能。它有一個低功耗的安全開關,當檢測到電湧時將關閉該型號,以及一個緊急停止開關,可在需要時快速關閉設備。總體而言,AXCELIS/FUSION 200PCU是一個高級曝光系統,可精確控制關鍵參數,同時幫助最大限度地減少與流程相關的問題。其高吞吐量和準確的數據采集和分析程序使其成為半導體行業的一個很好的工具。