二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9258172 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是半導體工業中為晶圓制造而設計的先進曝光設備。它將最先進的光學元件與最新的微控制器和自動化技術結合在一起,以更高的效率提供最高質量的結果。FUSION 200 PCU系統具有先進、高精度的光學單元,具有可變形狀的狹縫照明,可實現均勻、精確的曝光。它還具有雙狹縫投影柱和多個狹縫選項,可精確控制整個晶圓的曝光角度和焦點深度。全天候自動環境隔離機器可保護光學器件免受環境光線和灰塵的傷害。為了保證精度,AXCELIS 200PCU采用了先進的晶圓配準工具,具有自動光束和邊緣對準功能.它還具有高度精確的聚焦和圖像運動控制系統，以提高曝光時的準確性和可重復性。此外,FUSION 200PCU還具有一系列自動化功能,包括全自動曝光對準、曝光漂移校正和模模基板對準。這樣可以確保圖像和晶片得到快速、準確的處理,從而以最小的變化和最小的浪費實現更大的吞吐量。AXCELIS/FUSION 200PCU還具有可編程掩碼庫和集成的AI分析資產,以最大限度地提高效率和準確性。它還利用各種成像工具和程序來確保圖像和晶片接觸到適當的工藝參數。最重要的是，200PCU配備了最先進的用戶界面。這包括易於導航的顏色編碼圖形用戶界面、用於數據傳輸和診斷的USB連接,以及便於操作的10鍵膜鍵盤。總體而言,200 PCU為半導體行業的晶圓制造提供了先進而高效的解決方案。高級光學、自動化和用戶界面的結合使結果更加準確、可重復和無錯誤,並提高了效率和吞吐量。