二手 AXCELIS / FUSION 200 #293639952 待售

AXCELIS/FUSION 200是一款先進的曝光設備，旨在優化下一代半導體器件的制造。該系統采用了最新技術,可提供卓越的吞吐量、準確性和可重復性。FUSION 200是一個交互式、用戶友好的單元,具有廣泛的功能,是高容量、高精度生產環境的絕佳選擇。AXCELIS 200具有高分辨率晶片級、超高精度掃描儀和大功率脈沖電子束工具。晶片級是專門為基板快速準確對準而設計的先進設計，能夠移動直徑高達380mm （15英寸）的基板。其主要部件為真空卡盤、兩個架空載波臂和兩個電動X-Y-Z壓電級。掃描儀是一種多軸清潔和計量工具，使底物與電子束精確對準。它具有高速矢量驅動機和獨特的掃描尺寸優化算法。電子束工具能夠對高達150 keV和低kmV能量的電子束進行脈沖，並配備了熱管理工具以優化其壽命。200還提供了廣泛的過程控制、監控和優化功能。SCORPION軟件能夠控制整個制造過程,從初始晶片加載到光刻成像和過程集成。分析數據的采集和分析是通過一套板載過程傳感器實現的。可自定義的圖形用戶界面和彩色液晶觸摸屏使操作員能夠輕松地監視和控制資產。這些工具有助於確保盡可能高的經濟和收益。AXCELIS/FUSION 200設計為提供最大正常運行時間,其基礎密封平臺旨在減少因顆粒汙染造成的停機影響。此外,它還具有先進的可編程清潔循環、寒板平臺、裝卸端口和現代雙梁安全覆蓋模型。設備還配備了開放式系統架構，能夠與其他系統無縫集成。總體而言,FUSION 200是一個高效、可靠且用戶友好的單元,可幫助最大限度地提高吞吐量,同時確保準確性和可重復性。機器的創新設計與最新技術相結合，為制造商提供了滿足其先進光刻需求的終極工具。