二手 AXCELIS / FUSION DRS-10 / 12QN #293645766 待售

AXCELIS/FUSION DRS-10/ 12QN是為實現廣泛的光刻應用而開發的最先進的曝光設備。該系統建立在光刻和光學元件的獨特集成平臺之上，具有廣泛的工藝支持技術。FUSION DRS-10/ 12QN結合了光學和運動控制的最新進展,為獨特的雙面晶片曝光提供了卓越的性能和靈活性。該單元包括一個安裝在龍門架上的掃描機，以容納各種晶圓尺寸和基板。可操作的石英鬥篷組件提供統一的掃描過程性能,以及改進的生命周期性能。高度可重復、低噪聲的掃描工具，加上石英保護的照片調節階段，以及自對準的曝光後階段，實現了精確的定位和定位。采用10nm工藝的激光幹涉儀通過監測掃描鏈條在曝光前和曝光期間的定位，確保了這種配準的準確性。高精度激光掃描儀和圖樣發生器系統可實現圖樣保真度，並具有精確的溫度控制和整個晶片的出色均勻性。資產的高吞吐量通過快速伺服響應、精確控制和精密軟件算法的組合來實現。該模型采用自動光學對準設備，利用兩臺自動幹涉儀進行精確對準，可跨晶圓尺寸高度重復。AXCELIS DRS-10/ 12QN采用卓越的快門隔熱系統,可確保精確的溫度控制和參數的可重復性。該單元還具有一系列可選組件,從遠程卡盤監控到高級軟監視器/配方開發系統。功能強大的軟件使用戶能夠設計各種復雜的光學配置。綜上所述，DRS-10/ 12QN提供了最先進的雙面晶片曝光性能。它的一系列高級功能和組件提供了無與倫比的操作靈活性和高吞吐量。它集成的軟件包和支持過程的工具使其成為任何光刻應用程序的絕佳選擇。