二手 AXCELIS / FUSION F 300 Series #132416 待售

AXCELIS/FUSION F 300系列是為光刻、沈積和蝕刻應用而設計的先進prober station。此設備采用模塊化設計,可提供最大的靈活性和高效的過程吞吐量,同時保持高精度。它的多功能性使得它非常適合各種應用，從研發到生產。FUSION F 300系列基於軟件控制平臺和直觀的工具構建,提供專家級的流程控制和精確度,以簡化流程集成、開發和部署。AXCELIS F 300系列采用6軸級蔓藤花紋,包括線性驅動器、清音執行器和靜電夾緊,可精確移動基板。它還提供了高級叠加監視和標記功能,允許快速、輕松地校正離軸對齊錯誤。該系統包括一個高度靈敏的雙視圖檢測器和直列式濾波器輪，能夠進行精確、自適應的感應，以應對振動、溫度和氣壓等環境變化。F 300系列旨在利用現有硬件和軟件資源無縫集成到現有流程中。AXCELIS/FUSION F 300系列具有直觀的用戶界面,可輕松進行導航和流程設置,從而實現更智能的流程優化。它還具有最終用戶可調參數,包括對齊偏移、濾波器極性、校正模式和缺陷閾值。通過自動檢測計算機和子系統的穩定性,並在發生斷電和其他環境問題時恢復到默認設置,可以進一步保護此設備免受數據丟失和損壞。FUSION F 300系列是一種堅固、高性能的工具,旨在滿足光刻、蝕刻和沈積工藝要求苛刻的光電需求。其堅固的結構和集成的組件設計能夠實現精確和可重復的結果。AXCELIS F 300系列具有廣泛的特點和功能,是高精度、高通量光刻和沈積工藝的理想解決方案。