二手 AXCELIS / FUSION F 300S #9309256 待售

AXCELIS/FUSION F 300S曝光設備是用於制造半導體器件的先進工具。它是一個先進的系統，采用先進的光學元件，允許用戶以亞微米分辨率實現材料的高度精確曝光。該單元由幾個關鍵組件組成，包括投影儀、掃描單元和多個光源，使用戶可以創建廣泛的曝光模式。該機與多種半導體器件類型兼容，使其成為制造商高度通用的工具。投影儀位於工具的中心,提供高達5kHz的曝光光。投影儀包含一個自動化的可變孔徑資產,允許用戶精確調整曝光光的大小,從而實現小尺寸的曝光。投影儀還利用先進的脈沖寬度調制（PWM）技術來精確控制斑點對目標的暴露-使用戶能夠獲得低至0.25微米的特征大小分辨率。模型的掃描單元允許在目標內的復雜形狀上進行極其精確的曝光移動。它負責控制外露照明在視場內的運動，允許非常精確地放置外露光。掃描單元還包含一個Pico Speed Controller,允許快速、高精度的曝光移動,從而能夠在各種芯片設計中曝光小特性。此外，FUSION F 300S能夠混合來自多個曝光源的光。此功能允許用戶精確調整曝光深度和曝光率等曝光參數，以及即時交換和調整曝光燈的能力。總之，AXCELIS F 300S曝光設備是制造半導體器件時非常先進的工具。其先進的光學器件和先進的組件使用戶能夠實現亞微米分辨率，曝光率高達5kHz。此外，它能夠混合來自多個光源的光，使用戶能夠快速和精確地調整曝光參數，以創建復雜的曝光模式。