二手 AXCELIS / FUSION Gemini 200PCU/P #9103139 待售

FUSION Gemini 200PCU/P設備是一種超高精度曝光系統，提供卓越的成像能力和極其精確的叠加性能。該單元經過優化,可以處理最復雜的小間距設備,其最顯著的特點是能夠精確地成像和對齊小至0.02微米的叠加對齊標記。該機配備了具有雙價補償的自動調平臺，可以使高度的微小變化更加一致。這項先進的技術確保了有效的成像,以實現盡可能高的覆蓋精度。縱向和水平掃描級都是為最佳精度和快速處理速度而設計的。垂直級的分辨率為50 nm，最大加速度為1G，最大速度為400mm/s。水平級的分辨率為0.003微米，最大加速度為5Gs，最高速度為250毫米/秒。兩級均具有數字扭矩電機，設計用於在整個曝光過程中保持高度精確的對準。對於成像,工具使用尖端可見對準器和500W綠色激光器。這可確保清潔成像,並為精細間距的設備提供更廣泛的曝光設置。處理器配有增強的成像控制和自動曝光資產,可精確控制曝光參數。該模型還具有集成的熱管理功能,可減少可能影響設備性能的熱應力。通過保持一個穩定的熱環境，系統有助於減少熱相關誤差的發生。雙子座200PCU/P裝置的設計以環保意識的方式運作。它具有低噪聲設計，並設有碳濾波器，以減少其排放對環境的影響。總體而言，AXCELIS的Gemini 200PCU/P工具是在精細螺距裝置上實現極精確的對齊標記重叠的絕佳工具。憑借其先進的成像功能、卓越的熱管理資產和令人難以置信的精確度,該模型一定會成為任何定制芯片生產設施的寶貴資產。