二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411422 待售

AXCELIS/FUSION I250B是為內存設備和IC的光刻處理而設計的曝光設備。它提供可靠、可重復和可重復的高分辨率和吞吐量曝光。它具有模塊化的設計,使其能夠輕松適應不同的工藝要求。FUSION I250B利用大量先進技術取得了令人印象深刻的成果。該系統在曝光過程中使用了兩種不同波長的光，從而提供了優越的成像和分辨率能力。光源是一個強大的激光二極管陣列（LDA），產生高達900 mW的激光功率，能夠從紫外線到可見範圍的波長。使用二向色鏡來切換兩個光源之間的激光功率。此單元還利用全局快門,可最大程度地減少曝光過程中的模糊。該機具有各種特點,可精確控制曝光過程.它提供高達500 mW的可調激光功率,以及從0.5到1.5線/秒的可調線速。曝光時間從1ms可調至1000 ms，以微調過程的重復性。其全局快門可防止運動模糊,並提供光滑的覆蓋範圍和高產率的陣列設備。AXCELIS I250B具有晶圓照明的各種功能,例如動態聚焦和可調節的背面圖像強度級別。該工具還使用了具有兩軸運動的電動晶圓傳輸資產。這樣可以提高吞吐量以及可靠的晶圓對準和可重復性。I250B設計用於多種化學物質和材料，如幹濕抗蝕劑、光致抗蝕劑、蝕刻、抗蝕條、電鍍和抗反射材料。它提供了極佳的均勻性、分辨率和覆蓋範圍，在整個和周圍的晶圓。總體而言,AXCELIS/FUSION I250B是一種高級曝光模型,專為精度和可靠性而設計。其模塊化設計和特點提供了卓越的吞吐量、分辨率和可靠的可重復性。憑借其令人印象深刻的性能,此設備非常適合內存設備和IC光刻處理。