二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411423 待售
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AXCELIS/FUSION I250B是一種先進的曝光設備,旨在實現精確的設備制造和IC處理。這種卓越、全面的超大型場投影光刻系統提供了卓越的曝光性能和穩定性,能夠更好地控制精密設備的制造。曝光單元配備了直線照明、大場無失真成像、極高效均勻的光罩標線、優越的真空能力以及兩級還原光學器件。利用這種先進功能的光譜儀,FUSION I250B可以在各種基板上實現極其精確的成像。使用AXCELIS I250B曝光機的主要優點之一是其超大的現場曝光區。這樣就可以在不犧牲特征分辨率或曝光均勻性的情況下曝光復雜的大型結構。這種高曝光精度的水平是通過使用優越的光罩標線和無失真成像來實現的,這使得在光刻過程中失真的可能性降至最低。此外,I250B還配備了兩級還原光學器件,可讓刀具實現低至0.1微米的曝光分辨率,提供可靠且可重復且設置最小的卓越曝光功能。曝光資產還具有卓越的真空能力,確保了高效、清潔的加工,提供了對設備制造過程的精確控制。AXCELIS/FUSION I250B還提供了一系列用戶友好的功能,包括增強的操作和維護功能、先進的屏幕監控和報告、簡單的配方設置以及主動故障診斷。此外,該模型還采用了多種安全功能,以提高安全性和可靠性。總體而言,FUSION I250B提供卓越的曝光性能和穩定性,能夠更好地控制精密設備的制造。借助其增強的功能,用戶可以在各種基板上實現極其精確的成像,分辨率低至0.1微米。AXCELIS I250B是設備制造和IC處理的理想選擇。
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