二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411427 待售

AXCELIS/FUSION I250B是一種曝光設備，設計用於生產用於生產集成電路和其他電子元件的光刻印刷電路和微觀特征。該系統利用先進的軟件和硬件技術，為生產半導體器件提供了一個成本效益高、生產效率高的平臺。機組核心為300 mm FUSION工具。AXCELIS曝光機利用Kalina和NEXUS技術的獨特組合，以各種復雜的圖案形狀和尺寸產生高分辨率圖像。這包括超細線寬以及線性圖案、自由形態圖案和三維結構。該工具可以在最小步長為125 nm的情況下執行掃描曝光,並使用亞微米精度進行覆蓋。該資產還包括許多先進的無掩碼光刻系統，這些系統可以產生高保真圖樣，而無需傳統的光掩碼。其中包括基於坐標的近場成像技術C3D和能夠提供高分辨率成像而無需光學透鏡的混合浸入。此外，該模型還被設計為迎合各種抗性材料和化學物質。這包括i-line和g-line光致抗蝕劑，以及接觸抗蝕劑和蝕刻抗蝕劑。用戶友好的控制設備使用戶能夠在廣泛的能量和強度設置範圍內控制劑量和暴露時間。該系統還簡化了新流程應用程序的開發過程。這包括「Hybrid Job」單元和「Job Capture」等功能,該單元可對多階段流程進行排序編程,並可快速設置流程。該機還具有自動模式測量和分析功能。該工具能夠與其他生產設備一起自主操作。它為集成到其他現有工廠環境中提供了一個靈活的框架,並且是為滿足最高質量標準而制造的。這確保了長期的可靠性和產品的可重復性,使FUSION I250B一種用於大容量生產陣列電路的可靠且經濟高效的工具。