二手 AXCELIS / FUSION K250 #9411431 待售

AXCELIS/FUSION K250是專門為處理半導體晶片上的光電應用而設計的曝光設備。該系統提供一流的性能,可提供更高的晶圓吞吐量和出色的過程控制。曝光裝置旨在為光電生產的各種應用提供超精確的過程控制和高吞吐量。它具有先進的可變源晶片處理站，提供高功率和一致的曝光。該機包括一個270微米的紫外線光束源和先進的光學元件，用於高精度曝光晶圓上的圖樣區域，以及一個集成的預對準器和掃描儀，以實現曝光的光學精確對準。FUSION K250憑借其高電流離子束源和高達700 W的加速度電壓提供了優越的晶圓吞吐量。此外,其先進的副產品密封工具可確保清潔室操作的卓越環境保護。資產還具有用於晶片加載和卸載以及晶片/掩碼對齊的高級操作功能。符合人體工程學的用戶界面提供實時反饋、直觀的圖形界面和操作模型的簡化過程。此外,設備的高級控制功能確保了最佳的暴露參數和過程穩定性。AXCELIS K250是光電生產要求的理想解決方案。它為各種光電處理應用提供了卓越的過程控制、高吞吐量和先進的操作能力。其高性能的晶圓處理站，加上先進的技術和用戶友好的界面，使其成為光電生產的終極曝光解決方案。