二手 AXCELIS / FUSION K250 #9411433 待售

AXCELIS/FUSION K250是專門為處理IC晶片而設計的曝光設備。該系統利用專有的步進電機單元和光學器件提供小至0.45 µm的高分辨率曝光。此外，步進電機能夠高精度對準，達到1.5 µm的位置精度。該機采用模塊化設計，便於各種應用進行升級和定制。因此，它是一種用於IC晶片高級處理的可靠工具。FUSION K250具有晶圓旋轉級，帶有4英寸（100毫米）空氣軸承板，提供從5.5毫米x 5.5毫米到9.5毫米x 9.5毫米的掃描區域。晶片級還具有獲得專利的垂直對準機構，確保精度和壽命。它還有一個獨特的「空氣圍欄」工具，幫助控制步進電機和光學器件，為曝光過程提供穩定性。曝光資產裝有高性能FUSION光學器件，具有44 μ m x 33 μ m的場尺寸、0.2秒的曝光時間、高達10W/cm2的曝光劑量、優越的粒子還原濾光片等特點。光學配置還促進了吞吐量的提高,使其成為生產操作的理想工具。AXCELIS K250的設計盡可能方便用戶。它允許批處理和單端口配方加載,並具有直觀的菜單模型,易於使用。此外,還提供了一個包含100多個曝光配方的庫,從而可以輕松存儲和檢索設置。該設備有氧氣和氮氣兩種基礎工藝氣體，用於用戶定義的配方中，以防止光掩模汙染。此外，系統還配備了先進的除濕裝置，確保暴露的晶片表面幹燥。除了業界領先的技術外,K250還提供出色的技術支持。專家工程師全天候待命,可以通過電話、電子郵件或公司網站聯系。總體而言，AXCELIS/FUSION K250曝光機是IC晶圓加工的最先進的工具。它具有快速曝光時間、高分辨率成像、卓越的硬件和光學設備以及出色的支持。因此，它是IC生產運營的理想選擇。