二手 AXCELIS / FUSION LC-6 #93376 待售

AXCELIS/FUSION LC-6是一款高精度、高生產率的曝光設備,專為當今芯片制造行業最復雜的光刻要求而設計。FUSION LC-6可用於Deep UV光刻、E-Beam光刻和直接寫入過程，為用戶提供無與倫比的準確性和靈活性。AXCELIS LC-6具有定制設計的映像模塊,可在一系列過程和曝光設置中提供精確的性能。該系統能夠在22 nm處產生1核脫光掩模缺陷，並能同步多個曝光頭以實現高度精確的異構體陣列。LC-6配備了多項先進技術，以確保精確、可重復的結果。其中包括具有專有體系結構的統一性模塊,以確保整個視場的統一性,以及專有的Wavefront Deviation算法,可根據失真情況進行調整。該單元還配備了FACSEL陣列工具，用於對背面圖像進行精確、無損分析。AXCELIS/FUSION LC-6設計用於工藝公差和可重復性。可以針對特定應用程序調整一系列流程設置,並提供缺陷監控和曝光後流程分析,以進一步調整設置。還可以根據環境變化調整參數，在整個暴露過程中提供實時溫度和濕度監測選項。FUSION LC-6堅固的光學設計確保了長期的性能，無DOE的設計可以最大限度地減少振動，提高線性，消除圖像偽影。該機還設計用於最大限度地減少維護，具有光學器件的自動清洗、免維護驅動器，以及對日常操作的全遠程軟件支持。總體而言,AXCELIS LC-6是一種先進的高精度曝光工具,旨在滿足芯片制造行業最苛刻的要求。資產強大、功能豐富的設計使其能夠提供高度準確和可重復的結果,而其一系列先進技術則有助於最大限度地提高流程靈活性和可重復性。