二手 AXCELIS / FUSION LC-6B #9245539 待售

AXCELIS/FUSION LC-6B是用於光刻工藝的先進曝光設備，特別是激光掃描投影曝光系統。它利用激光、光源和數控掃描方法將精細圖樣和圖像傳輸到基板上。該單元旨在幫助簡化開發過程、提高產量和提高覆蓋精度。它也非常通用，能夠用於半導體、MEMS和IC制造，以及許多其他相關工藝。FUSION LC6B機器由高頻、高分辨率的激光二極管提供動力，產生均勻、清晰的圖像圖樣。這種激光器可產生高達4瓦的功率，並能以高達160 kHz的速率產生激光脈沖，使工具的工作範圍非常廣泛，光學通量也很高。這使得它非常適合較小的線寬、閘門和互連圖樣以及雙打印等應用。AXCELIS LC 6B的激光源型號被設計為易於調節和定制，波長範圍為365 nm至532 nm，可變脈沖持續時間為10 ns-1000ns。除此以外，該資產還包括精密光學、AE控制以及用於優化曝光過程的瞬時快門。這使得特定圖樣和圖像尺寸的應用可以精確地應用於具有快速周轉時間的光刻材料。AXCELIS/FUSION LC6B還配備了高分辨率投影光學器件和圖像穩定模型，圖像穩定能力高達0.1 μ m。此外,此設備能夠產生出色的掩蔽模式和叠加作業,並提供多種模式和映像選項,並具有高級的實時用戶界面,並且提交的各種作業包括JPG、BMP、TIF和TGA映像格式。AXCELIS/FUSION LC 6B的激光投影系統旨在減少成功光刻工藝所需的步數，同時提高整體工藝精度和控制。該單元還配備了多噴嘴機，方便快速基板噴塗，以及集成的硬件和軟件，使曝光過程更加安全和受控。總體而言，AXCELIS LC-6B是一種功能強大、用途廣泛的曝光工具，是在光刻工藝中實現高精度和高效率的寶貴資產。它包含高級功能,並提供各種自定義曝光過程的選項。LC6B具有快速的周轉時間以及出色的圖案和圖像質量，是尋求簡化光刻工藝的人們的理想工具。