二手 AXCELIS / FUSION M 150 #193148 待售

AXCELIS/FUSION M 150是一款多方向曝光設備，旨在以快速可靠的方式支持多種模具尺寸。該系統提供來自石英、金屬、塑料等各類基材的晶片平面。該裝置具有非同尋常的兩軸運動機器，可以快速、精確地對準基板。通過X-Y運動和旋轉運動的結合，該工具為多模片晶片應用提供了一個靈活的解決方案。FUSION M 150資產利用強大的模塊化體系結構,對曝光過程提供高級控制。它由兩個Step-Motor線性伺服電動機提供動力，具有先進的可編程矢量驅動器，能有效地處理高速基板運動。其獨特的設計為所需的曝光過程提供了最大程度的控制和靈活性，並且完全可配置以適應每種基板的要求。該型號還配備了獲得專利的可變壓力設備，為管理所需的曝光均勻性提供了終極解決方案。利用其可調壓力，該系統可以保持最佳的壓力水平，同時消除基板翹曲的影響。該裝置還具有一個雙區域控制機，可獨立控制基板頂部和底部表面的壓力。AXCELIS M150還配備了高級模具映射工具,可為操作員提供整個圖像的完整元數據摘要或跨所有基板面的模具。這有助於確保曝光過程的準確性和一致性。該資產還能夠實現廣泛的曝光角度。它的高性能光學元件選擇允許以0°到60°的角度曝光,從而實現更大的對比度和分辨率。這使得它適用於各種互連和其他電路元件的制造。AXCELIS/FUSION M150完全可定制,以滿足客戶的個人需求並提供卓越的性能。對於任何具有多種設計要求的基板表面,它都是理想的選擇。它能夠準確、一致地滿足要求苛刻的應用程序的需求，使其成為任何應用程序的完美多方向曝光模型。