二手 AXCELIS / FUSION M 150 #9095706 待售

AXCELIS/FUSION M 150是一種臨界維度（CD）計量曝光設備，其設計和開發目的是確保用於半導體晶圓測試和加工的光刻曝光的可重復性。該系統使用先進的激光照明光學器件來產生均勻穩定的曝光輪廓。它具有較低的入門劑量水平、精確的CD測量和高度自動化的操作。FUSION M 150由直觀的圖形用戶界面（GUI）和圖形對象導向工具提供支持,允許靈活的曝光配方。一種有效的算法能夠對圖案化晶圓地形進行精確的CD控制，並具有可追溯的質量控制結果。因此,它提供了改進和更快的平均每晶片時間吞吐量。AXCELIS M150還提供了改進的均勻性和穩定性較低的模式缺陷，和更高的收益率。該單元采用基於體積模型重建的先進的自適應DoE（實驗設計），以達到最佳暴露條件。它配備了雙源I線投影照明器和RGB三角計量機，用於精確測量晶圓表面的CD。功能強大的I-Line照明器可提供更高的吞吐量和高達1.1 um的更高分辨率。取代傳統的標線級，隨著高速單軸壓電級的引入，定位精度得到提高。Piezo級還能夠精確掃描，允許低成本叠加。AXCELIS/FUSION M150可以直接訪問一個可靠的工具數據庫,以促進快速和可重復的流程重新啟動。它還通過自動工具校準提供增強的用戶體驗。此功能可確保準確的處理結果,並最終提高晶圓吞吐量。它還通過廣泛的計量和分析工具,包括功能強大的光學顯微鏡、叠加分析工具和能夠在0到360度之間成像角度的成像軟件,進行擴展過程開發。此外，FUSION M150還配備了多種質量控制功能，以保持生產質量的一致水平。它具有先進的工具同步OPC Metrology,用於改進精度控制,改進CD測量的分辨率,采用動態和靜態平面場校正,用於清晰的邊到邊打印,提供多種用於經濟高效解決的聚焦配方,以及具有大樣本量的高分辨率掃描能力。M150提供了極大的靈活性,並提供了多種配置以獲得最佳性能和計量結果。它是半導體晶圓加工的可靠、經濟的資產，提供了簡化的操作和最大的晶圓吞吐量。