二手 AXCELIS / FUSION M 150 #9293753 待售

AXCELIS/FUSION M 150是為高通量和大基板設計的先進曝光設備。它能夠提供高分辨率、低失真、均勻性和低排泄率,適用於從超高精度半導體掩模形成到大面積平板顯示器的各種應用。FUSION M 150配備了先進的電子束源，允許廣泛的級大小 （從300 mm到1200mm）和基板配置,業界領先的飛行時間為150 ns。電子束源在超低功率範圍內提供極其穩定、可重復的性能,非常適合需要更細線和接觸幾何形狀的應用。該系統高度可定制和可配置,允許用戶選擇最佳的配置和設置,以滿足其應用程序的需求。此外,該單元的靈活性允許用戶從各種控制應用程序中進行選擇,包括自動特征識別、模擬和優化。AXCELIS M150能夠支持多種晶圓材料和光掩模,包括大孔徑掩模和高密度的標線。此外，它還可以支持低至0.1微米的特征大小。機器配備了高級診斷功能,用戶可以監視其刀具的性能並優化工藝參數。這有助於確保卓越的過程控制和可重復的結果。此外,FUSION M150還提供了許多有助於其可靠運行的其他功能。高速數據交換和聯網功能允許與各種資產外圍設備（如晶圓對齊軟件、處理器優化工具等）輕松運行並支持集成。M150適用於各種應用，從高質量的高級光掩模和接觸器到超大表面積的非圖案基板。此外,它結合了先進的功能和可靠的性能,成為高端半導體器件和大面積顯示器生產的首選。