二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619554 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一種先進的曝光設備，旨在滿足微電子領域最苛刻的應用。該系統通過先進的技術、設計和自動化提供卓越的可靠性和可重復性。該單元由具有先進光學器件的高性能光束源驅動，以確保一系列高度均勻的能量和劑量水平。五軸XYZ機械臂提供最精確可靠的樣品輸送，不犧牲速度和準確性。該機還具有低成本的亞微米步進器，超快的遊行速度為6ns，精確的劑量水平+/-0.25%，深紫外線的長波曝光波長，以及由於全自動的在線膠片控制和曝光優化模塊的高吞吐量。FUSION M150PC提供精確度和速度,擁有和運營成本較低。憑借強大而直觀的用戶界面,該工具具有足夠的靈活性,可支持各種流程。它提供高精度劑量和曝光控制,精度高達0.1%。資產還配備了內置分辨率和漂移補償算法，以實現更好的過程控制，以及自動晶圓處理和即時配方的可調過程窗口。AXCELIS M 150 PC模型由於其快速的晶圓循環時間,有效地利用了資源以提供卓越的生產率,同時還提供了一致而可靠的結果並提高了產量。實時流程反饋的使用也支持設備確保流程的長期穩定性。該系統符合CE、EMC和UL的要求,其超低振動共振可確保系統平穩安靜地運行,同時減少停機時間。FUSION M 150PC是最先進的曝光系統之一,提供無與倫比的性能和可靠性。它非常適合微電子領域的生產和研究應用，能夠實現高通量和高產加工。憑借先進的光學和機械臂，以及多種人性化的特點，是各類曝光作業的絕佳選擇。