二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619555 待售

AXCELIS / FUSION M 150PC
ID: 293619555
晶圓大小: 6"
優質的: 2010
Photo stabilizer, 6" 2010 vintage.
AXCELIS/FUSION M 150PC是為精密光刻處理而設計的曝光設備。它由超強大的6軸運動控制平臺和Up- Down TimeBase運動控制技術提供動力。此技術允許對制造過程中的層和陣列放置進行極其精確的控制。該系統采用定制設計、功能強大的150W Mercury Lamp,其夾層玻璃窗可達到4K(開爾文)的溫度。它還包括一個長焦距投影鏡頭,提供出色的光學均勻性,具有非常高的精度和可重復性。此外,FUSION M150PC還具有用戶友好的設計,可讓幾乎任何操作員輕松操作。該單元具有高分辨率的圖像處理功能以及高分辨率的模具對齊功能,可確保最佳的詳細層定位和模式復制。AXCELIS M 150 PC完全自動化,以實現一致、高批量的生產,並具有準確性和可重復性。該機還具有多項內置安全功能。它配備了最高性能的空氣防護、塵埃過濾器,並在基於時間的工具上操作,以避免危險的壓力和熱量積聚。高科技自動對焦功能允許在一次射擊中精確、精確地放置碎片。M150PC還配備了包括CCD攝像頭在內的各種測量和測量儀器,以確保準確、一致地完成所有圖樣。全自動過程控制資產監視整個過程,在測量值偏離目標水平或設備不符合安全或質量標準時停止設備和警告操作員。總體而言,AXCELIS/FUSION M150PC是一種先進、可靠的光刻模型,可實現精確的圖樣繪制和圖層放置,並具有高度的準確性和可重復性。它具有用戶友好的界面、安全功能和高分辨率成像功能,使其成為大批量生產的強大平臺。
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