二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619558 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一種先進的曝光設備,專為制造集成電路和高密度互連而設計。該系統的設計目的是在大批量輪流生產中實現最高質量、最統一的結果。該裝置包括一個多波長平臺，可精確對準太陽能電池、電路和設備設備，這些設備的配置可提供最全面的曝光覆蓋。這種接觸療法提供了更大的吞吐量、更低的運營成本和更好的設備電氣性能。該機器包括多個光源，包括能夠從紫外線和可見光譜產生曝光波長的脈沖準分子激光器。這樣就可以同時覆蓋復雜的多矽和小圖片元素。該工具還配備了廣泛的遮罩板和晶片級，使用戶能夠快速準確地配置所需的曝光條件。此動態曝光平臺可提高層對齊速度和叠加性能,同時提供優化的曝光範圍。該資產還采用了嚴格的溫度公差設計。此溫度控制可幫助用戶在整個曝光周期中實現一致且可重復的性能。該模型采用有源空氣冷卻，有助於保持整個暴露區的溫度均勻。該設備還具有高級軟件控制功能。它使用精密的算法快速準確地配置多波長曝光平臺，並與精密的設備控制系統集成。這使用戶能夠輕松調整曝光參數,以提供從FUSION M150PC中獲得的最高質量性能。該系統被認為是業內最先進的曝光平臺之一。它非常適合制造高密度集成電路和器件。該單元提供了確保下一代應用的最高質量矽器件和電路所需的精確控制和統一性。