二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293822595 待售
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ID: 293822595
UV Irradiator, 6"
(25) Wafers
(3) Phase
Voltage: 380 V
Frequency: 50 Hz
Maximum temperature.: 200 ℃
Vacuum: > 200 mmHg
CDA: ≥ 4.0 bar (4 kgf/cm²)
PCW: ≥ 4.0 bar (4 kgf/cm²)
Exhaust: 30 SCFM
Heating Rate: 3.1 ℃/s
Cooling Rate: 5.8 ℃/s
Temperature Control Mode: PID Control
Process High Current: 10.7 A / 10.8 A
Process Low Current: 10.5 A
High Irradiance: 164 mW/cm²
Low Irradiance: 78 mW/cm².
AXCELIS/FUSION M 150PC是用於高質量和精密集成電路光刻的最先進的曝光設備。它專為滿足半導體行業的光刻需求而設計。該系統由準分子激光束源、高精度投影光學模塊、晶圓級、集成前端單元（FES）和綜合工藝控制軟件套件組成。該機設計為提供最高質量的結果，具有高對比度的表面，快速曝光時間，精確對準和低線條模糊。專有的FES可確保可重復性、高吞吐量和卓越的圖像質量。激光束源提供高通量密度和一個狹窄的，5 nm帶寬的紫外線輻射。這種激光能量被分割，其中一部分光束使用橫晶圓，一部分用於直列對準，提供低至0.5微米的分辨率。高度可靠的投影光學模塊由三組鏡頭和鏡子組成，提供成像分辨率和失真校正。通過激光和光掩模的組合，可以產生納米翅目或微米尺度的圖案。晶片級保證了精度對準，具有六軸運動控制和高通量晶片裝載機和卸載機。該工具的非凡穩定性使晶片在曝光過程中具有極好的位置精度。最後，過程控制軟件套件為用戶提供了一整套監控整個光刻過程的功能。這包括配方處理、記錄所有參數、錯誤檢測和恢復以及報告功能。該資產還支持分布式處理,允許多個工作站同時運行。FUSION M150PC結合激光技術、投影光學、晶片級和軟件控制，為集成電路系統的制造提供了無與倫比的性能。該模型的設計目的是在一小部分時間和成本內產生最優質的平版印刷圖像,使半導體制造商能夠保持競爭力,同時跟上行業需求的步伐。
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