二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293823986 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
AXCELIS/FUSION M 150PC是專門為大體積半導體器件生產而設計的先進曝光設備，被許多最大的半導體器件制造商的半導體器件所利用。該系統包括一系列技術組件,使用戶能夠生產高度精確、一致且可靠且缺陷最小的設備。該裝置是圍繞一個最先進的81厘米掃描長度的兩場電子乘法光刻頭建造的，該光刻頭能夠產生最小特征尺寸為20納米的圖像。此外,磁頭提供高達5.3 μ m的極高分辨率,再加上高達20 mm/sec的高速掃描速率。此外,該機采用3800瓦三波段雙寬帶照明和可選的18khz輔助燈技術進行了優化,確保了最佳聚焦深度和最精確的特征尺寸。該工具的硬件構建在工業級PC上,並由英特爾至強處理器與Nvidia Quadro GPU配對提供支持,從而確保獲得最佳結果的最高計算能力。資產的其他特點包括EUV投影光學器件和用於增強成像效果的高級像差校正模型。此外，該設備還提供了一個用於精確成像的閉環焦靶控制，而電動鏡頭設計可以提供極好的精度和可重復性。該系統還有一個集成的單元控制，為用戶提供對所有操作、參數和數據采集的全面控制。這包括對整個機器進行單獨的調整和校準，以及對各種食譜進行編程和儲存以備將來使用的能力。此外,該工具還集成了一個獨特的工具-監控資產,它提供了對光刻頭、光學和傳感器的詳細分析,使用戶能夠進行主動調整以保持最佳性能。除了其先進的技術外，該型號還包括一套全面的安全功能，以保護環境、人員和設備。這包括內置的安全系統,可防止高溫、機械損壞和有害材料的影響。它還包括在發生任何重大故障或緊急情況時自動關閉設備電源。綜上所述，FUSION M150PC是為滿足設備制造最嚴格的要求而設計的先進光刻系統。該單元具有廣泛的特性，從低噪聲EM光圈到創新的EUV投影光學，從個體校準能力到嚴格的安全特性。這使得它成為大批量設備生產的絕佳選擇。
還沒有評論