二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9114863 待售
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單擊可縮放
ID: 9114863
晶圓大小: 6"
Photostabilizer, 6"
Includes:
Cabinet with SST panels
Wafer chuck assembly
(2) Cassette elevators
(2) Wafer handling robots
AC Distribution box
Empty card cage
Cables.
AXCELIS/FUSION M 150PC是為半導體器件制造的最佳性能而設計的高端光學曝光設備。它是小型模具和大型晶片生產的理想選擇，是先進微芯片制造工藝的理想選擇。FUSION M150PC具有獨特的準直投影光學系統，其中包括兩個可單獨調節的2軸7.5英寸鏡面、一個5英寸波長的多視鏡（MVO）鏡頭和一個0.65倍的場掩模光路。將目標圖像均勻地投影到數字圖像處理處理器上以進行精確控制。該單元還包括電源供應商、自動對焦機和用於晶圓測試和平面化的燒錄單元。憑借其先進的功能,它提供了最大的靈活性和處理速度。該工具可配置為適應各種數字圖像格式和分辨率,包括JPEG、TIFF、BMP和CMYK。最大分辨率設置為每英寸20,000點（ppi），非常適合復雜圖形和文本的靈敏處理。自動聚焦控制能夠檢測對象位置的微小變化，精確調整焦點，以保證暴露層質量的一致性。再者，AXCELIS M 150 PC也支援多層曝光模式。可靠的資產設計使用戶能夠以最小的效率損失高效地切換和調整暴露參數。此外，它的專有液晶快門模型提供了從常規0.25毫秒到999毫秒的靈活耗費曝光時間，允許精細控制和增強圖像質量。AXCELIS M150PC采用用戶友好的液晶觸摸屏,提供直觀的圖形用戶界面,用於設置曝光時間、曝光區域和圖層曝光參數。雙區排氣設備進一步提高了操作的舒適性和效率，使腔室保持清潔，並確保溫度和濕度水平的穩定性。總體而言,FUSION M 150PC是一個可靠、高效的曝光系統,為一系列高級處理技術提供卓越的性能和靈活的功能。它適用於需要清潔和均勻曝光的應用，例如用於微電子、光電子和MEMS技術的半導體器件制造。
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