二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9226631 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是FUSION Technologies制造的曝光設備。它是一種光刻系統，用於在集成電路（IC）晶片和基板上創建圖樣。該裝置能夠處理尺寸高達150毫米（6英寸）的晶片，圖樣深度分辨率高達5納米。該機器的特點是具有先進的高分辨率能力、高吞吐量和易用性。該工具具有高分辨率、高通量步進掃描資產,能夠以高達350個晶片/小時的速度處理6英寸晶片。使用Asurf軟件，該模型針對各種曝光模式和基材進行編程，允許用戶根據所需的晶圓尺寸和生產需求定制工藝。該設備還具有一個長壽命的連續波激光二極管，能夠支持基板的圖案高達10nm。FUSION M150PC還配備了高性能電子束源。此光束源允許使用者達到低至5 nm的圖樣深度，光束電流範圍高達3 amps/cm2，曝光劑量高達20 mrad/cm2。該系統還提供集成的實時缺陷檢測,通過使用戶能夠快速識別基板上的任何缺陷,從而實現了最佳的生產效率。該單元建立在符合人體工程學的設計和易於使用的軟件之上，使其易於集成到現有流程和培訓要求中。該機由AXCELIS OneCET軟件和AXCELIS/FUSION聯鎖控制器提供動力，提供高效的晶圓過程監控。該工具符合ISO、SEMI和OHSAS的安全、質量和環境標準。此外，資產還要定期進行維護和更新，以符合行業標準和安全法規，確保在其整個生命周期中實現最佳性能。總而言之,AXCELIS M 150 PC是一款高性能曝光模型,旨在在模式定義和基板材料類型方面實現最高的精度和清晰度。該設備提供高速吞吐量和精確的陣列,為用戶提供了極大的靈活性和不斷調整以實現最佳性能的能力。結合可選的光束跟蹤包和實時缺陷檢測，該系統是IC生產和其他相關工藝的絕佳解決方案。