二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9232206 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是為高級光刻應用而創建的高級曝光設備。該系統配備了獨特的5軸級單元，允許頂層性能的精確對準。機器的功能為用戶提供了廣泛的選項。該工具采用三種不同的光源構型：純氟化氙、248nm波長的光帶寬光源和365nm波長的I線光源。氟化氙激光器在整個光紋區域具有很高的通量、圖像保真度和均勻度，而I線光源是聚酰亞胺感光膜的理想選擇。該資產還采用了先進的準直叠加成像檢測技術,可提供直接的邊緣對準,提高精度和精確度。此外，準直叠加成像檢測技術允許在一個周期內實時分析、監測和計量標線和晶片。此外,先進的電源補償模塊還提高了抗蝕劑的吞吐量、焦點和關鍵尺寸。該模型還包含一個復雜的計算平臺,可直接控制諸如掩碼ID、暴露、劑量和對齊等參數。計算平臺還使用戶能夠自定義自己的配方設置和分析數據，從而無需額外編程。FUSION M150PC的來源足夠智能,可以自動檢測設備中何時加載掩碼、晶片或標線。此外，該系統還配備了一些最先進的安全功能，如緊急關閉，以及燃燒和電氣安全機制。AXCELIS M 150 PC是一個強大可靠的曝光單元，能夠在各種光刻和納米加工應用中提供一流的性能。用戶友好的功能和高級功能使用戶能夠以最小的努力創建最高質量的圖像和圖案。該機器非常適合工業和研究應用，如納米電子學、半導體、微型光學和光子學。