二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9241901 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一種先進的經濟高效曝光設備,專為大容量光掩模生產而設計。它具有高吞吐量、高質量的圖像和先進的自動化,是制造各種光刻蒙版（包括用於顯示LCD的蒙版）的理想解決方案。該系統提供了創新的、集成的光學設計，有兩個離子泵和兩個晶圓加載站選項。它還具有下一代電子產品,包括大尺寸、易於使用的觸摸屏界面和運動控制器,以及自動對焦裝置,以確保高精度和最佳的特征放置。FUSION M150PC還提供了多種功能來提高系統性能。這些特點包括用於在一系列氣體中高效顯膜的大功率離子泵，以及大面積偏振器和發射器以及可調節的孔徑，從而能夠產生高對比度、低失真和大面積圖像。該機器還具有類似ProX的全範圍掃描儀（FRS）以實現快速掃描移動時間,以及直觀的焦點對準工具（FAS）以自動對準射擊場。它還具有先進的多層光刻資產，相對於基板具有可調能量。此外,此型號還具有自動化的晶圓處理機制,可實現快速高效的批處理。這種晶片處理機制有四個機器人-一個用於從工作站裝卸晶片，兩個用於檢查和清潔，一個用於分離。機器人可用於多個晶片的批處理，以提高吞吐量。此外,負載/卸載模塊還配備了自動碰撞檢測設備,可幫助確保不損壞標線和其他組件。AXCELIS M 150 PC允許生產各種各樣的光掩模類型，包括鋁和石英掩模，以及來自不同基板的轉移。它還提供各種分辨率,範圍從50 nm到500 nm。此外，該系統能夠減輕叠加誤差，允許精確的光掩模對準和提高產量。總體而言,AXCELIS/FUSION M 150 PC是一款經濟高效、高性能的曝光設備,它提供了多種功能來簡化、簡化和改進光掩碼的制造。它具有高吞吐量、先進的自動化和直觀的觸摸屏界面,是為LCD和Display應用制作高質量光掩碼的完美工具。