二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9250096 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC Exposure Equipment是一種先進的直接視圖晶圓曝光工具,設計用於生產IC。該系統適用於亞微米特征尺寸的高密度器件的批量生產。該單元基於線性電機，可以精確定位和裝載/卸載基板。該工具能夠在30微米深度的200X減小時暴露多達150毫米的基板。該資產提供了一套旨在減少汙染和提高準確性的功能。該型號的直視功能采用了集成的長壽命、密封透鏡投影設備和封閉玻璃頂篷，確保了清潔、無塵的環境。它還配備了集成激光幹涉儀，提供精確的基板定位和基板傾斜控制。該系統的光學單元采用無塗層幹投影透鏡和一系列光學帶通濾波器，能夠產生細線和亞微米特征尺寸。此外，該機還配備了機動化對準器，可用於快速、精確地對準精度<0.2um的基板。該工具的機動化晶片處理資產提供單基板和雙基板處理,包括六西格瑪功能。該模型還具有全自動、自動化的基板映射功能，以確保可重復的基板處理。FUSION M150PC是一種高效可靠的設備,專為長期、經濟高效的生產而設計。該系統的專業編程確保了快速穩定的吞吐量,每小時的生產率高達12個周期。該設備采用模塊化配置,在需要時允許靈活性和升級。該機器還提供遠程監控的網絡連接，並與各種主機、操作系統和軟件兼容。AXCELIS M 150 PC Exposure Tool為IC制造過程提供了先進、精確的暴露能力。憑借其全面的特性和自動化，該資產非常適合高密度設備的生產，並確保準確和可重復的結果。