二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9399679 待售

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ID: 9399679
晶圓大小: 6"
Photostabilizer, 6".
AXCELIS/FUSION M 150PC是一種統一的高性能曝光設備,用於各種光刻應用。它旨在滿足各種特征大小和音高精度級別中最嚴格的成像要求。系統擁有高速多功能傳輸平臺,兼容高達375mm的標線。它包括一個最多可容納30個標線的自動處理單元和一個用於對準和驗證的激光查看器。FUSION M150PC包括一臺高端光學圖樣生成器,利用尖端技術和先進的圖像處理算法相結合,以極好的精度和可重復性生成一系列鏡頭尺寸。AXCELIS M 150 PC還配備了多級激光曝光頭。它具有最大的150W功率,可以以高達250 μ m/s的速度曝光鏡頭。這種激光器的設計提供高保真圖像具有極低的線條和空間變化。AXCELIS/FUSION M150PC結合了實時焦點控制、高級對齊控制和糾錯功能,以保持最佳圖像控制。自動化的過程控制機器通過增強的進程刀具控制功能,確保每次運行都有可重復的結果。該工具還具有下一代光刻運行時軟件iCure。此軟件旨在識別、分析和糾正曝光過程中可能出現的任何問題,從而實現更高效、更可靠的產品開發。其結果是靈活、可靠、高性能的曝光資產,具有最大的運動穩定性、卓越的可重復性和準確性,以及增強的過程控制能力。FUSION M 150PC是在廣泛的光刻應用中提高生產效率和質量的絕佳選擇。
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