二手 AXCELIS / FUSION M 150PCJ #9095711 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCJ是用於深層紫外線LED應用的先進、經濟實惠的曝光設備。該系統可在各種亞微米基板上實現高端性能。使用LED輔助、直接成像（DIDI）和各種數字高度控制（DHC）選項等專有技術,FUSION M 150PCJ為成像和特征尺寸提供了卓越的精度。AXCELIS M 150PCJ采用集成的測控單元設計,可確保操作精度、精確的圖像傳輸和動態響應。這包括一個熱管理冷卻機來穩定曝光室以獲得最佳性能。Direct Imaging Technology （DIDI）加強了曝光層和成像層之間的重叠，同時還提供了基板上特征尺寸的更大對比度分辨率。FUSION的Mach 2.0模塊采用了先進的數字高度控制（DHC）選項,可實現不同層的精確對齊和多焦點曝光例程。通過這種能力，可以在許多基板上實現細間距和特征的均勻性。此外,M 150PCJ支持原位清潔功能,促使基板加工效率提高,提高產量和刀具性能。AXCELIS/FUSION M 150PCJ具有符合人體工程學的設計,可以高效、精確地處理過程。此外,資產的直觀用戶界面和實時遠程監控功能能夠快速反饋給操作員,從而在需要時便於及時調整。此外，該車型還支持自動對焦清洗、深度清洗、B級清洗等多種清潔工藝。總而言之，FUSION M 150PCJ一種用途廣泛且高度精確的曝光設備，可以滿足深層UV LED應用的需求。其集成的層級控制技術和自動化的工作流程,使得快速的設置和高效的操作.此外,其符合人體工程學的設計和經濟高效的操作使其成為最佳系統性能的理想解決方案。