二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9043936 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU離子植入設備是一種最先進的可靠設備,可實現最大的過程靈活性和植入吞吐量。它是一種先進的集成離子植入器系統，適用於廣泛的設備過程。它提供精確和卓越的掃描控制。此曝光單元由源腔、掃描儀和晶圓傳輸機組成。源室裝有15EkV興奮劑和20kV退火槍。它有一個8段靜電掃描儀，用於精確的植入控制。掃描儀的垂直軸由計算機控制。晶圓傳輸工具的設計使得晶圓可以在不停止模型操作的情況下從資產中加載和卸載。還配備了自動晶片裝卸模塊。該設備由基於Windows的計算機系統控制，這使得植入配方的編程更加容易，植入控制更加精確。該單元還有一個實時反饋回路，有助於控制植入物的劑量和輪廓。這臺機器允許精確和可重復性，即使有小劑量差異。FUSION M 150PCU提供可靠、可重復和高性能的植入。它采用先進的離子源控制技術和先進的光束和基板控制，以確保高生產率。用戶界面由大型觸摸屏彩色監視器和圖形編程語言組成。這使得編程和更改食譜變得快捷易行。該工具還能夠處理小基板尺寸和不同的等離子體過程，如低能植入物。該資產有一個多階段占空比，允許最佳使用摻雜劑和最小的模型充電。此外,它還具有最大的流程靈活性,允許用戶通過快速的周期時間有效地管理各種植入過程。AXCELIS M 150 PCU為各種設備和基板提供高性能、靈活、高效的植入和退火功能。它包含了先進的光束控制技術和直觀的用戶界面，以更快、更準確地實現植入配方。它具有卓越的可重復性能,可提高產量和性能,從而最大程度地提高可靠性。