二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9235795 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是一種工業級的光刻膠曝光設備，設計用於生產級光刻工藝，如晶圓、基板和面罩制作。該系統非常靈活,具有自動更換基板和掩模、立體聲光刻和可調節曝光區域等功能。FUSION M 150PCU采用綜合軟件包構建,支持快速、精確的高度可重復曝光。該軟件使用戶能夠在幹燥和潮濕過程中完全控制光照水平和采集時間。此外,它還允許在較寬的曝光範圍內定位精度高達0.1毫米。它還可以與變速、多區域掃描例程實現長期曝光一致性。AXCELIS M 150 PCU由一個高精度的伺服控制步進器和控制器、光傳感器和軟件平臺組成。控制器配備了自己的集成微處理器和與相片傳感器接口的電子設備。光電傳感器本身包含一個高精度的光學單元，與標準的剖面儀相比，可以更精確地控制輸出功率和曝光時間。該機還配備了高端XY定位工具，在廣闊的區域內提供精確的精度。此外,它還包括真空卡盤資產,以確保樣品在暴露過程中牢固地固定在適當的位置。該型號還可以配備防反射塗層設備，以幫助降低曝光過程中晶片靜態堆積的風險。FUSION M 150 PCU具有內置的安全功能，包括專用的空氣過濾器和保護人員免受有害輻射的專門防護裝置，以及內置的緊急關閉系統。該機組也極為可靠，正常運行時間為99.9%。總體而言，M 150PCU曝光機是臨界光刻工藝的絕佳選擇。它堅固、易於使用和高度靈活,為各種應用程序提供激光精度和可靠性。