二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9293816 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是一種中等性能曝光設備,專為需要單曝光和多曝光功能的各種應用而設計。此機器具有一個新的6軸運動系統,可靈活調整和自定義1軸、2軸或3軸配置中的X或Y事件。與同類系統相比,FUSION M 150PCU預熱時間得到了改進,預熱時間為2分鐘,最多6個軸。該單元設計成以1微米的線性增量運行,在20毫米掃描範圍內提供± 2%的總體精度。該機還具有22納米的高分辨率，允許在對準、接觸和成像應用方面有更大的選擇性和準確性。子曝光功能以及集成的自動對焦和直觀導航使AXCELIS M 150 PCU適用於快速設計和最佳的特征和模式保真度。本機具有多種標準特性，包括多種能級選擇、可變掃描速度和可變劑量法，以及掃描屏障防護、對準、原位掃描等全面的高級安全特性。它還附帶了一個全面的診斷軟件包,以確保工具性能始終保持在規範範圍內。該資產由易於使用的圖形用戶界面提供支持,可提供簡化和自動化的操作。該界面還提供全面的在線數據日誌和統計流程控制，允許用戶實時監控和跟蹤流程性能。此外，該模型還為寬度不超過200厘米的特種腔室和各種校準程序提供全面支持。FUSION M 150 PCU適用於多種關鍵應用，包括生命科學和微電子學領域的納米光刻、激光燒蝕和運動控制。對於在經濟高效且可靠的設計中尋找中等性能曝光設備的客戶來說,這是一個理想的選擇。