二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355454 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是為生產先進半導體器件層而設計的曝光設備。它采用了單件、雙梁、直列機系統，將其輪廓化為一個統一的平臺，以實現精確處理和放置。在超高晶片吞吐量下,該單元可為各種晶片尺寸和層提供卓越的成像質量。機器的最先進的光學器件，激光切割晶片支架和加載工具提供精確的對準，減少模具放置不均勻。FUSION M 150PCU配備了先進的自動曝光、模式對準、模壓鑄造、對準以及最佳目標級對準設計。其軟件功能旨在最大限度地提高吞吐量、控制墊子、速度、實現連續對齊和高吞吐量成像。該資產允許精確控制曝光參數,如照明功率、數值孔徑、傳感器位置、劑量和焦點大小。AXCELIS M 150 PCU附有六種不同的成像系統，包括高解析度標準鏡頭、高解析度離子感應、環狀掃描、自動聚焦、環狀掃描加激光對準。這確保了在各種波長和數值孔徑下的靈活和高質量的成像。為實現高效操作,該模型設計了內襯器、輪廓圖、放置補丁程序和應用的不可鎖定保險杠。這樣可以消除微米振動,並減少曝光時間。此外，該設備還具有自動模模配準，用於掩模與準分子對準（MTE）對準，提高了邊對邊配準精度。該系統還設計了多目標晶圓處理功能。它的自動對齊器能夠處理多達四個晶片堆棧，並且設計成通過自動傳感、推動和夾緊來壓縮晶片組，使整個晶片能夠曝光。綜上所述，M 150PCU是一個單件、雙梁、直列機單元，旨在實現高級半導體層的精密處理和放置。該機器在超高晶圓吞吐量下可提供卓越的成像質量,可提供各種晶圓尺寸和層,並具有高分辨率光學器件、自動模模配準工具、多種成像系統和自動內切/輪廓器功能,以減少非均勻性並提高邊到邊的精度。此外,該資產還具有多目標晶片處理功能和可處理多達四個晶片堆棧的自動對齊器。