二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355456 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU曝光設備是先進的晶片光刻加工工具。它經過專門設計，既準確又快速。它具有很長的工作距離和寬廣的視野，使標線精確對準晶片。此外,其快速的曝光率和較短的曝光率使工作流程保持一致和高效。該系統非常適合一系列光刻工藝，包括直接紫外線激光曝光、紫外線光刻塗層和後塗層對準。它的快速曝光率是由於一個四透鏡光學單元與浮場成像機。這種四透鏡光學工具的數值孔徑較小，減少了衍射，提高了分辨率。資產還具有Auto Focus功能,可快速將晶圓置於最佳焦點位置。FUSION M 150PCU通過其集成的自動對齊功能為關鍵成像任務提供高精度。自動對準功能可快速準確地將標線對準晶片,以形成適當統一的曝光模式。此外,它的可調聚焦功能可確保所有圖像具有相同的聚焦距離,從而確保一致的曝光和結果的可重復性。該模型還設計方便晶圓處理和加載。它有一個快速晶片檢修室，可輕松打開，使晶片能夠快速裝卸。此外，它的自動晶片對準設備減少了對準問題，並有助於將晶片快速定位到成像階段。總體而言，AXCELIS M 150 PCU曝光系統是晶片快速、精確光刻加工的絕佳工具。它的功能允許用戶快速準確地將標線與晶片對齊，確保均勻的曝光模式和可重現的結果。借助可調節的聚焦單元和自動晶片對準，機器一定能幫助在任何微加工過程中促進平穩高效的工作流程。