二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9391701 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是為半導體制造業設計的最先進的曝光設備。它利用高端光學元件和先進的掃描能力，為制造高度復雜的半導體器件提供卓越的分辨率和精度。該系統由鏡頭組件、掃描儀、光源、曝光控制和晶圓跟蹤組件組成。該單元提供的鏡片組件是一種優化的消色差，具有低靜電散光，出色的色彩校正和高分辨率。它具有200毫米的有效孔徑和雙光路，使它能夠提供高達201毫米的總投影面積。掃描儀由多軸掃描臂、高質量的狹縫掃描相機和紅外探測器組成。它的先進功能允許快速掃描和獲取各種暴露水平和晶圓位置。曝光控制具有可調節的設置，可以準確控制曝光時間、劑量、拍子大小和掃描速率。此外，該機器還配備了高速晶圓跟蹤工具，每小時可跟蹤多達180個晶圓，重復精度為0.5毫米。該資產還集成了能夠每小時曝光超過8000個晶圓的大功率光源。光源由一個可編程的發射器陣列和一個反射器組成，其波長和發射類型的設置可調。這允許半導體器件的最佳曝光。最後，該模型還能夠對溫度範圍為4-40°C的晶片進行精確的溫度控制。這樣可以確保曝光過程是均勻的,從而消除由於熱梯度引起的任何缺陷。FUSION M 150PCU是半導體行業的強大工具，讓企業以更高的精度和效率制造出更復雜、質量更高的器件。其先進的功能,加上堅固的設計和緊湊的外形尺寸,使其成為當今市場上最可靠、用途最廣泛的曝光系統之一。