二手 AXCELIS / FUSION M 150PS #293616814 待售

AXCELIS/FUSION M 150PS是為半導體行業先進光刻應用而設計的高端曝光設備。它使用投影光學器件將精確的圖樣照射到光刻表面，從而能夠在集成電路（IC）上創建復雜的電路圖樣。FUSION M 150PS使用了一種大功率汞/氙燈，提供波長範圍為436-451nm的強光源。它的投影光學由光學元件、冷凝器透鏡、標線架和一個共同提供150倍放大倍率的投影透鏡組成。該光路與步進和重復運動系統同步，該系統將標線圖樣移動到IC的大面積快速、精確的圖樣。該裝置還配備了一臺真空機，可保持曝光室內的壓力，並有助於確保曝光過程中的最高精度。此外，AXCELIS M 150PS包括多種安全功能，以保護操作員免受有害輻射和其他潛在危害。M 150PS的先進特性使其成為芯片封裝和微打印元件等大容量光刻應用的理想選擇。它還實現了卓越的吞吐量,與大型IC相比具有一致的圖像質量。功能強大的刀片掃描儀可確保即使是最復雜的陣列也能快速準確地曝光,從而在成本敏感的生產環境中提供卓越的性能和可靠性。總體而言，AXCELIS/FUSION M 150PS是典型的多項目晶圓工藝的絕佳選擇，包括醫療設備和電信的工藝。其柔韌性和堅固的設計使其適合各種光刻應用。