二手 AXCELIS / FUSION M 200 ACU #293641443 待售

AXCELIS/FUSION M 200 ACU是提供精確高速圖樣的先進光刻曝光設備。它是市場上速度最快的掃描儀之一，每小時能夠達到200次晶圓曝光。它具有高吞吐量和精確覆蓋精度的動態性能。ACU利用先進的先進光學成像系統和變速直流電動機來實現更大的控制和靈活性。成像單元使用了各種各樣的透鏡、分束器和其他光學元件,因此可以對多個標線進行成像,而無需對機器進行重新編程。該工具還具有鏡片像差校正功能,即使在使用極端光學配置時也能實現精確的陣列。此外,ACU還將生產吞吐量和精密叠加與超低擁有成本相結合。這種組合使制造商能夠快速生產低成本的高密度設備。ACU支持各種各樣的工藝應用，從模具級封裝到多層芯片級封裝。該工具配備了若幹性能增強控制功能。最高級別的伺服系統和傳感器提供快速、準確的信號處理,而直觀的控制臺軟件通過自動執行預防操作來提高工作效率。ACU還具有豐富的標準和定制組件,提供了廣泛的可配置性和可靠性。此外，ACU使用了若幹安全標準，使操作員的工作安全。該資產包含幾種內置的安全機制，如氣動閥鎖、低壓背壓互鎖模型，以及振動監測設備和反射器清潔檢測器等附加功能。FUSION M 200 ACU是一款功能強大、高度先進的光刻儀器，能夠以極高的精度可靠地、精確地對設備進行陣列設計。它將速度、靈活性和性能增強功能結合到生產設備中,可幫助減少上市時間和降低擁有成本。該系統是制造商在生產過程中尋求最高質量和效率的絕佳選擇。