二手 AXCELIS / FUSION M 200 PC #9329137 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
AXCELIS/FUSION M 200 PC是為激光光刻應用開發的先進曝光設備。該系統使用532-nm綠色準分子激光器在半導體晶片上創建光刻膠圖樣。它還具有兩種精密聚焦光學器件，以提供高分辨率成像，提高聚焦深度和更高的吞吐量。該單元采用剛性底板設計，以消除振動，確保精確的光刻對準和曝光。它還包括一臺熱成像機和先進的計量工具，用於監測和調整過程運行期間的曝光參數。該工具的核心特點是具有自動曝光功能。該平臺允許可編程參數設置，如曝光時間、焦點深度、場大小、能級和波長。Power SenseTM電源監控技術動態測量激光的功率分布，並自動調整其性能以獲得最佳性能。此外,PulseStitch TM功能使用戶能夠將可調節持續時間和能量的多個脈沖組合到單個脈沖中。這確保了光刻膠圖樣之間均勻的能量分布。FUSION M200PC配備了先進的安全功能，以保護操作員和激光資產免受傷害。除了車型的互鎖傳感器外，設備還內置了安全簾系統和排氣單元，可以消除曝光過程中產生的煙霧。該機還配有水冷卻器和電源，以提供穩定、持續的運行。AXCELIS M200 PC可與多種光掩模設計結合使用，可用於開發多種不同類型的光刻膠和其他光刻工藝。其精密聚焦光學、可編程參數設置、脈沖技術等特點可與光掩模、光刻膠等工藝結合，定制個別配方，使其成為半導體光刻研究和生產的理想工具。
還沒有評論