二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU Polo #9258174 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU Polo是一款高精度曝光設備。它采用了類似顯微鏡的設置，其中一個標線安裝在一個x-y級和晶圓是用來捕捉圖像。標線放置在x-y級，與晶片對齊。然後在顯微鏡下沿x和y方向移動標線，將其定位以進行曝光。該系統旨在提供精確、可重復的曝光,並具有出色的分辨率。它的高分辨率光學器件精確地捕獲了標線，使其能夠在低水平下提供準確的曝光。這個單元還有一個機動化的晶片級，可以將晶片精確呈現給標線，以確保最大程度的曝光精度和重復性。FUSION M200 PCU POLO具有數字運動控制器,可精確控制x-y級和晶圓位置。它能夠提供從毫秒到小時的曝光時間,以及從幾納克到毫克不等的曝光劑量,並且可以將曝光量保持在1% ±以內。此外，它還提供LED、K星、Mercury Arc、DUV燈等多種光源，以及窄帶調節、防反射濾鏡等濾鏡選項。曝光機還具有幾個安全特性。它提供自動晶片邊緣對準與自動邊緣檢測算法和獨立的安全工具。這樣可以確保標線的精確對準,並具有最小的損壞晶片或標線的電位。它還具有自動檢測標線移動的功能,並在發生意外移位時立即停止曝光和縮回標線。最後，AXCELIS M 200 PCU-POLO配備了數據記錄資產。該模型實時記錄暴露時間和劑量，可用於過程控制和缺陷分析相關目的。它還可以記錄位置、溫度、濕度和其他環境條件，以確保均勻暴露和過程重復性。總體而言,AXCELIS M200 PCU POLO是一款先進而堅固的曝光設備,能夠以卓越的分辨率提供可重復和準確的曝光。它的安全功能提供了額外的保護級別,其數據記錄功能可確保準確記錄過程控制和缺陷分析。