二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293651753 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一種為支持半導體工業生產而設計的曝光設備。該系統包括一個管理、傳送和控制寬帶紫外線光源的先進平臺。它能夠使用自適應單元自動控制其輸出功率。FUSION M200PCU有一個石英封閉式光學機器，可以直接集成到所有輸出級別的掃描儀、步進器和生產甲板中，用於圖樣和標線成像等目的。憑借其廣泛的光學參數，該工具可以容納不同類型的半導體基板和特征尺寸。該資產還具有廣泛的光學元件，如偏振和高度傳感器，以及獨特的光束均勻器，提供均勻的強度分布。該模型能夠安排曝光時間和功率水平，確保準確的紫外線輻射量。所有設備功能都是可編程的，系統只支持掃描或掃描控制模式。它還有一個先進的維護測試單元，設計靈活，支持未來的升級。對於維護和維修任務，AXCELIS M200 PCU單元設計為遠程維修，在技術人員維修時將繼續運行。機器還有一個強大的軟件集合，允許遠程工具監控。此軟件允許技術人員遠程調整參數、調整資產設置並排除任何問題。M-200 PCU是為高可靠性和長使用壽命而設計的,在整個使用壽命過程中幾乎不需要維護。該模型還具有許多用戶友好的功能,例如易於使用的圖形用戶界面,使操作員和技術人員能夠直觀地訪問所有設備功能。AXCELIS M200PCU是一種高度可編程且易於使用的系統,非常適合為半導體生產和其他苛刻的應用提供高質量的紫外線輻照。它旨在提供一致準確的曝光,並且可以輕松集成到現有生產線中。