二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824584 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一款高端曝光設備，旨在為平版印刷應用提供出色的分辨率。該系統將高級單元體系結構與高級映像功能結合在一起,以提高性能和工作效率。該機器非常適合設備制造需求,從小型部件到全尺寸設備。該工具包括一個配備兩個後視式攝像頭的高端等離子體室，允許用戶從任何角度監控資產的性能。有多通道電容監視器，有助於優化晶圓吞吐量和監控晶圓質量。100 W電子束源有助於容納較小的區域以進行精細的陣列,而50keV的工作電壓範圍為設備和特征尺寸控制提供了更大的靈活性。該模型可以暴露一系列的光阻特性，並提供高精度的深度聚焦能力。計算機控制的掃描儀確保了精確和可重復的晶圓成像，同時處理多層放置和曝光模式的能力提高了產量和生產率。該設備還配備了優化引擎，用戶可以根據不同的設備生產要求輕松定制系統。該單元還具有自動跟蹤機，允許用戶在生產過程中監控設備的性能。該工具還能夠進行熱烘烤，允許用戶控制暴露樹脂的均勻性。先進的基板處理使資產能夠輕松地、安全地轉移和處理薄基板，降低了汙染風險。FUSION M200PCU是一種用途廣泛、功能強大的曝光模型,非常適合設備制造。由於其先進的成像能力、強大的設備體系結構和靈活的優化引擎,該系統可實現最大的設備產量和準確性。
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